Özellikler
- MEMS ve wafer probu için kolay entegre olur.
- Basit ve sezgisel işlemler, birkaç dakikada ölçüme hazır
- Kısa ölçüm döngüsü ile artırılmış üretim performansı
- Ürün geliştirme, sorun giderme ve üretim evrelerini hızlandırır
- Rezonans ve statik topografi için hızlı tanımlama ve görüntüleme sağlar